 |
|
|
|
|
|
|
|
半导体工艺用石英管其中部分要用于1250℃以上，这就要求石英管具有较好的耐温性能。公司已开发出一种经特殊工艺处理，其机理为在石英玻璃外表面形成很薄的方石英晶层（薄壳结构）的GXN-600型耐高温石英管（方石英晶层的熔点为1720℃）。在许多单位使用中，已表明具较佳的耐高温效果。
本页曲线图是GE214LD石英管与GXN-600型耐高温石英管高温下变形率比较。同时还列出1250℃以上使用GXN-600型耐高温石英管直径和壁厚的部分参考数据表。 |
| 表Ⅵ-1250℃以上GXN-600型石英管直径和壁厚 |
| 外径mm |
壁厚mm |
外径mm |
壁厚mm |
| 100±1.1 |
3.5±0.6 |
170±1.5 |
6±1.1 |
| 110±1.2 |
4±0.7 |
180±1.5 |
6.5±1.2 |
| 120±1.2 |
4±0.7 |
190±1.6 |
7±1.3 |
| 130±1.3 |
4.5±0.8 |
200±1.6 |
7.5±1.3 |
| 140±1.3 |
5±0.9 |
210±1.6 |
8±1.4 |
| 150±1.4 |
5±0.9 |
220±1.7 |
8.5±1.4 |
| 150±1.4 |
5.5±1 |
230±1.7 |
9±1.5 |
|
 |
 |
| 我公司现推荐一种耐高温石英新产品GDK-800，它是由美国GE公司开发的涂钡（Ba）高温石英管。其耐高温性能优于涂铝（Al）产品，这是由于钡的初始成核温度相对较低，因此方石英晶体的成核和生长能在较低温度下进行。这就使得在一定时间内能形成一层更有效的厚方石英层。 |
|
|
|
|
