| 表Ⅰ-东科石英选择GE公司各类规格的石英材料 |
| 类型 |
特点 |
主要用途 |
| 标准型 |
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| 214棒 |
是工业标准的透明熔凝石英材料,经济并具备各种尺寸规格,尤其是外观清晰,热性能和机械性能强的特点,且羚基含量低,尺寸公差严格。 |
应用于高性能,高温度灯,例如:汞灯、石英滷素灯、紫外线灯、热电偶、半导体石英制品、波导处理以及其他高温的产品 |
| 半导体型 |
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| 214棒 |
带有极少气线和夹杂物的透明熔凝石英棒,并具有极好的尺寸稳定性。 |
可用于半导体工业方面的硅片承载器的制造。 |
| 214LD管 |
是含有214型相同性能的透明熔凝石英,但适用于大直径管。 |
用于半导体工业中的扩散、氧化和LPCVD工序。 |
224管
LD管、棒 |
与214型一样具有相同优秀的高粘度和外观标准。使用特殊方法将碱含量减少到PPB级。 |
用于那些尽管只胡碱含量痕迹也会影响晶片产量的关键性扩散系统。 |
244管
LD管,棒 |
与224型相同,只是铝含量降低。 |
适合选用低铝石英的用户使用。 |
| 124锭 |
是生产72寸直径×26寸厚锭的透明石英板和窗的材料。该材料纯度高并含有一些细小气泡。该材料具有不同规格和尺寸。 |
可用于半导体工业和各种光学应用中以生产硅片承载器和凸缘,是低成本商品化质量的材料。 |
| 134锭 |
与124型相同,只是铝含量降低。 |
适合选用低铝石英原料的用户使用。 |
| 144锭 |
与124型相同,但铝、钾及钠的含量更低。 |
适合选用铝、低钾及低钠石英原料的用户使用。 |
| 021锭 |
和GE124型相同的透明合成熔凝硅锭。 |
该超高纯度可以使用在最关键半导体操作中的板和片的生产中。 |